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1100c rtp rohrofen system mit turbomolekularer vakuumstation & komplettem zubehör

  • Model Number:

    TMAX-1200X-RTP-HV-LD
  • Delivery Time:

    3 days
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DESCRIPTION

1100c rtp rohrofen system mit turbomolekularer vakuumstation & amp; amp; komplettes Zubehör


tmax-1200x-rtp-4-hv ist ein UL-zertifizierbarer Kompakt-Schnellwärmebehandlungsrohrofen (4 Zoll Innendurchmesser) mit Hochvakuumstation (Membranpumpe + Turbomolekularpumpe) und kf-d25-Vakuumflansch zum Tempern von Halbleiterwafern oder Solarzellen mit einem Durchmesser von bis zu 3 Zoll. das Der Ofen wird mit 8 Einheiten Halogenlicht (1 kW) um das Verarbeitungsrohr mit einer max. Heizrate von max. 50 c / s. Der Präzisions-Temperaturregler mit 50 Segmenten ist mit einer Genauigkeit von +/- 1 eingebaut ° c.


Ofen

Struktur

kompakter 4 “rtp rohrofen Double Layer Steel Case (Mullite Liner)

Heizkörper

8 Stk. Halogenlichtröhre (d = 10 l = 300 t = 200 mm)

Arbeitstemp.

1100 ° C max. ( Die maximale Haltezeit dieses Hochofens darf bei 1000 ° C bis 1100 ° C weniger als 600 Sekunden betragen, da sonst der O-Ring schmelzen kann )

max Heizrate

50 ° C / Sek

maximale Abkühlrate

64 ° C / min (unter Vakuum: 200 mTorr), 117 ° C / min (unter Atmosphärendruck)

Heizzone

12 "Länge mit 4" konstanter Temperaturzone innerhalb einer Gleichmäßigkeit von +/- 1 ° C

Programmtemp. Regler

  • pid automatische steuerung über scr (siliziumgesteuerter Gleichrichter) Leistungsregelung mit Phasenanschnitt, Strombegrenzungswiderstand.
  • 30 programmierbare Segmente zur präzisen Steuerung von Heizrate, Kühlrate und Verweilzeit.
  • Klicken Sie hier, um zu erfahren, warum scr ist genauer als ssc (solid state relay).
  • eingebaute PID-Auto-Tuning-Funktion mit Überhitzung & amp; defektes thermoelement defekter schutz.
  • Übertemperaturschutz und Alarm ermöglichen den Betrieb ohne Begleiter.
  • +/- 1 ° C Temperaturgenauigkeit.
  • RS485-Kommunikationsanschluss.
  • PC-Steuerung:
    • ein mts-02 Kontroll Modul wird für die PC-Steuerung dieses Ofens mitgeliefert.
    • Die neue Version des PC-Moduls ist jetzt kompatibel mit LabView 05/08/2014
    • Ein Laptop-PC kann für 900 US-Dollar zusammen mit dem Ofen bestellt werden. Wir empfehlen, einen Computer (Laptop) bei uns zu bestellen, um Probleme bei der Softwareinstallation zu vermeiden Wir führen die Installation und Tests vor dem Versand durch .

Quarzröhre & amp; Beispiel halter

  • Quarzröhrengröße: 4,33 "o.d x 4,05" i.d x 16,2 "Länge
  • Der Probenhalter mit einem Durchmesser von 3 Zoll wird in den Gleitflansch aus Quarz eingesetzt
  • Ein Aln-Wafer mit 3 Zoll Durchmesser wird in der Mitte des Halters platziert, um eine Probe mit einem Durchmesser von bis zu 3 Zoll zu glühen.
  • aln weist eine sehr hohe Wärmeleitfähigkeit auf, die im Probenbereich für die beste Temperaturgleichmäßigkeit sorgt
  • Der Probenhalter ist vom Flansch abnehmbar

Vakuumflansch

kf-d25 hochvakuumflansch ist aus edelstahl mit doppelter hochtemperatur gefertigt. Silikon-O-Ringe, Nadelventile.
Der Schiebeflansch erleichtert das Laden von Proben. 3 "Quarzprobenhalter. Einsetzbares Thermoelement für genaue Messung.

Wasserkühlung Jacke

  • Kühlwasser wird benötigt.
  • Bitte stellen Sie sicher, dass die Durchflussmenge des Kühlwassers ≥ 10l / min ist, Wassertemp. & lt; 25ºc; Druck & gt; 25 psi.
  • Wir empfehlen die Verwendung der eq-kj5000-Serie Umlaufwasserkühler als Kühlsystem (bitte separat bestellen bei verwandten Produkten unten), um Wasser zu sparen.

Warnung: Die maximale Verweilzeit dieses Hochofens muss bei 1000 ºC bis 1100 ºC mit Leitungswasser weniger als 600 Sekunden betragen, da sonst der O-Ring schmelzen kann. Bei Verwendung eines Umlaufwasserkühlers kann diese Haltezeit auf 1200 Sekunden verlängert werden.

Durchflussmesser

Ein Durchflussmesser ist an der Frontplatte installiert, um den Gasfluss von 0 - 160 ml / min einzustellen

Leistungsaufnahme

208-240 AC, 50/60 Hz einphasig, 9 kW max. (& gt; 60a Unterbrecher erforderlich)

hv station
Hochvakuumstation

Struktur

  • Wagengröße: 600 (l) x 600 (B) x 700 (B), mm
  • max. Laden: 600 Pfund an der Spitze
  • Molekularpumpen-Bedienfeld: LCD Digital
  • Membranpumpe und Turbomolekularpumpe sind im Inneren des Stahlgehäuses installiert.

Vakuumgrad

6,3e-5 mbar (mit 4 "-Rohrofen in 40 Minuten)

Schalttafel

  • Ein-Knopf-Bedienung - Die Membranpumpe und die Turbomolekularpumpe starten, nachdem die Taste "Start" gedrückt wurde.
  • Systemgesteuerte Drehgeschwindigkeit - Die Steuerung regelt die Drehzahl der Turbine entsprechend dem Vakuumniveau und der Leckrate der Reaktionskammer.
  • Selbstschutz - Das System schützt die Pumpe vor Schäden durch Überhitzung und Überhitzung, wenn die Leckrate der Reaktionskammer zu hoch ist, um ein hohes Vakuum zu erreichen.
  • LCD Bildschirm - Schnittstelle zur Überprüfung der doppelten Linienparameter Erleichtert die Handhabung der Arbeit.
Selbsttest Hochdrehen

Startzeit

2 Minuten

Volumenstrom der Vorpumpe bei 10 mbar

3,8 l / min für 50 Hz und 4,4 l / min für 60 Hz

Leistungsaufnahme

110 V AC oder 220 V AC umschaltbar, 50/60 Hz

Energieverbrauch

dauer / max leistung: 100 / 110watt

Versandinformation

Gewicht und Abmessung

RTP-Ofen: 110 lbs, 760 x 330 x 530 mm (30 "x 13" x 21 "Zoll) L x B x H
HD-Station: 40 lbs, 600 x 600 x 700 mm (24 "x 24" x 28 ") L x B x H

Garantie

Zwei Jahre eingeschränkte Garantie mit lebenslanger Unterstützung (Verbrauchsmaterialien wie Verarbeitungsrohre und O-Ringe sind nicht von der Garantie abgedeckt. Bestellen Sie den Ersatz bei den unten aufgeführten verwandten Produkten.)

Laptop, Software & amp; WiFi-Steuerung (optional)

  • brandneuer laptop mit microsoft window 10 und microsoft office 2013 (30 tage kostenlose testversion) für den sofortigen einsatz.
  • Labview-basiertes Temperaturregelsystem Ermöglicht dem Benutzer das Bearbeiten des Temperaturprofils, das Verwalten des Wärmebehandlungsrezepts sowie das Aufzeichnen und Plotten von Daten für MTI-Öfen.
  • Eine kabellose Fernbedienung bietet eine Reichweite von bis zu 300 Metern.
  • Die oben genannten Funktionen sind auf Anfrage und gegen Aufpreis erhältlich (bis zu 1.000 USD). Bitte kontaktieren Sie uns für weitere Informationen.

Beachtung

  • ce zertifiziert
  • der ofen ist bereit, die ul 61010, iec 61010, spe-1000 zu passieren, die von nrtls gegen Aufpreis getestet wurde. Bitte kontaktieren Sie uns für ein Angebot und detaillierte Informationen.
  • Temperaturregler ist erfüllt und CE-zertifiziert
  • Die Hochvakuumstation ist tuv-zertifiziert

sliding furnace






1. Wir liefern Maschinen mit batterie technologie unterstützung.

2. wir liefern vollständiger Satz von Lithium-Batterie-Ausrüstung für Laborforschung, Pilotforschung und Produktion lin e.




1 standard exportiert paket: interne kollisionsschutz, externe export holzkiste verpackung.

2 Versand per Express, per Flugzeug, per Schiff nach Kundenwunsch, um den am besten geeigneten Weg zu finden.

3 verantwortlich für den schaden während des versandprozesses, wird den schaden teil für sie kostenlos ändern.



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