1100c rtp rohrofen system mit turbomolekularer vakuumstation & komplettem zubehör
Model Number:
TMAX-1200X-RTP-HV-LDDelivery Time:
3 days
1100c rtp rohrofen system mit turbomolekularer vakuumstation & amp; amp; komplettes Zubehör
tmax-1200x-rtp-4-hv ist ein UL-zertifizierbarer Kompakt-Schnellwärmebehandlungsrohrofen (4 Zoll Innendurchmesser) mit Hochvakuumstation (Membranpumpe + Turbomolekularpumpe) und kf-d25-Vakuumflansch zum Tempern von Halbleiterwafern oder Solarzellen mit einem Durchmesser von bis zu 3 Zoll. das Der Ofen wird mit 8 Einheiten Halogenlicht (1 kW) um das Verarbeitungsrohr mit einer max. Heizrate von max. 50 c / s. Der Präzisions-Temperaturregler mit 50 Segmenten ist mit einer Genauigkeit von +/- 1 eingebaut ° c.
Ofen |
Struktur |
kompakter 4 “rtp rohrofen ( Double Layer Steel Case (Mullite Liner) |
Heizkörper |
8 Stk. Halogenlichtröhre (d = 10 l = 300 t = 200 mm) |
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Arbeitstemp. |
1100 ° C max. ( Die maximale Haltezeit dieses Hochofens darf bei 1000 ° C bis 1100 ° C weniger als 600 Sekunden betragen, da sonst der O-Ring schmelzen kann ) |
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max Heizrate |
50 ° C / Sek |
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maximale Abkühlrate |
64 ° C / min (unter Vakuum: 200 mTorr), 117 ° C / min (unter Atmosphärendruck) |
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Heizzone |
12 "Länge mit 4" konstanter Temperaturzone innerhalb einer Gleichmäßigkeit von +/- 1 ° C |
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Programmtemp. Regler |
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Quarzröhre & amp; Beispiel halter |
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Vakuumflansch |
kf-d25 hochvakuumflansch ist aus edelstahl mit doppelter hochtemperatur gefertigt. Silikon-O-Ringe, Nadelventile. |
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Wasserkühlung Jacke |
Warnung: Die maximale Verweilzeit dieses Hochofens muss bei 1000 ºC bis 1100 ºC mit Leitungswasser weniger als 600 Sekunden betragen, da sonst der O-Ring schmelzen kann. Bei Verwendung eines Umlaufwasserkühlers kann diese Haltezeit auf 1200 Sekunden verlängert werden. |
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Durchflussmesser |
Ein Durchflussmesser ist an der Frontplatte installiert, um den Gasfluss von 0 - 160 ml / min einzustellen |
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Leistungsaufnahme |
208-240 AC, 50/60 Hz einphasig, 9 kW max. (& gt; 60a Unterbrecher erforderlich) |
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hv station |
Struktur |
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Vakuumgrad |
6,3e-5 mbar (mit 4 "-Rohrofen in 40 Minuten) |
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Schalttafel |
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Selbsttest Hochdrehen
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Startzeit |
2 Minuten |
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Volumenstrom der Vorpumpe bei 10 mbar |
3,8 l / min für 50 Hz und 4,4 l / min für 60 Hz |
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Leistungsaufnahme |
110 V AC oder 220 V AC umschaltbar, 50/60 Hz |
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Energieverbrauch |
dauer / max leistung: 100 / 110watt |
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Versandinformation |
Gewicht und Abmessung |
RTP-Ofen: 110 lbs, 760 x 330 x 530 mm (30 "x 13" x 21 "Zoll) L x B x H |
Garantie |
Zwei Jahre eingeschränkte Garantie mit lebenslanger Unterstützung (Verbrauchsmaterialien wie Verarbeitungsrohre und O-Ringe sind nicht von der Garantie abgedeckt. Bestellen Sie den Ersatz bei den unten aufgeführten verwandten Produkten.) |
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Laptop, Software & amp; WiFi-Steuerung (optional) |
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Beachtung |
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1. Wir liefern Maschinen mit batterie technologie unterstützung.
2. wir liefern vollständiger Satz von Lithium-Batterie-Ausrüstung für Laborforschung, Pilotforschung und Produktion lin e.

1 standard exportiert paket: interne kollisionsschutz, externe export holzkiste verpackung.
2 Versand per Express, per Flugzeug, per Schiff nach Kundenwunsch, um den am besten geeigneten Weg zu finden.
3 verantwortlich für den schaden während des versandprozesses, wird den schaden teil für sie kostenlos ändern.
