1200 ° C PE / CVD-Ofen mit HF-Generator, Gasmisch- und Pumpsystem
Model Number:
TMAX-1200PECVDDelivery Time:
3 days
1200 ° C pe / cvd Ofen mit HF-Generator, Gasmischung & amp; Pumpsystem
Vakuumpumpenwagen nur bei Ihnen erhältlich Kauf einer Pumpe und eines digitalen Vakuumreglers.
tmax-1200pecvd Serie chemische Gasphasenabscheidung (cvd) und plasmaunterstützter chemischer Dampf Mehrzonen-Spaltrohröfen für die Abscheidung (PECVD) verfügen über die berühmte kanthal & reg; (Schweden) Drahtheizelemente in hoher Qualität eingebettet mitsubishi & reg; (Japan) Aluminiumoxidfaserisolierung. Alle Stahl Dual-Layer-Gehäuse sorgt für Langlebigkeit und Minimiert den Wärmeverlust zur Außenfläche.
Ofenbetrieb wird gesteuert durch shimaden & reg; (Japan) 40-Segment-Digital-Controller mit integriertem RS485-Digital-Kommunikationsanschluss und USB-Adapter, so dass der Benutzer eine Verbindung zu einem PC für die Fernbedienung und Überwachung des Ofens. Sie können Testergebnisse auch speichern oder exportieren.
Alle unsere Öfen haben ein Zertifikat.
Eigenschaften
· kompakt, tragbar und leicht Design.
· niedrigere Verarbeitungstemperaturen erforderlich vergleiche mit herkömmlichen cvds.
· Film Stress kann durch gesteuert werden Hoch- / Niederfrequenz-Mischtechniken.
· geteilte Ofenkammer für schnelles und einfaches U-Bahn-Zugang.
· Das Standardpaket enthält einen Satz von Vakuumdichtungsflansche aus Edelstahl mit Ventilen und Druckmesser.
· mikroprozessorbasierte Selbstoptimierungs-PID Die Regelung sorgt für einen optimalen thermischen Prozess bei minimalem Überschwingen.
· Prozesse mit mehreren Atmosphären in a Einzelzyklus möglich (z. B .: Ausbrennen des Bindemittels an der Luft und Sintern der Teile unter Druck) raues Vakuum oder Inertgasumgebung.)
· Eingebauter Amperemeter und Doppelvoltmeter zur einfachen Überwachung und Fehlersuche.
· Eingebaute Computerschnittstelle.
· langlebiges Thermoelement vom Typ k.
· Die verschiebbare Ofenoption bietet Ihnen ultra schnelle Abkühlraten
Sicherheit
· Überhitzungsschutz schaltet die ab Ofen, wenn die Temperatur außerhalb des zulässigen Bereichs liegt (siehe Regler manuell) oder wenn das Thermoelement defekt oder defekt ist.
· Der Stromausfallschutz wird fortgesetzt Ofenbetrieb unmittelbar nach dem Ausfall, wenn die Stromversorgung wiederhergestellt ist.
Warnung! Füllen Sie den Ofen niemals mit explosiven Gasen, einschließlich Wasserstoff, Kohlenmonoxid und Methan.
Ofen, Vakuumpumpe und Gas Spezifikationen des Mischsystems
Schlauchmaterial |
Quarz |
Heizkörper |
kanthal & reg; (Schweden) Widerstandsspulendraht |
max. vs konstante Arbeitstemperaturen |
1200 ° C max. und 1100 ° C konstant |
Thermoelementtyp |
k |
feuerfeste Auskleidung |
mitsubishi & reg; (Japan) Faser mit 1500 Graden Aluminiumoxid |
Temperaturregler |
shimaden & reg; (japan) fp93 mit 4 programmen und 40 Segmente |
maximale Erwärmung & amp; Kühlung Bewertung |
& lt; 30 ° C / min |
Temperaturregler Präzision |
+/- 1 ° C |
Vakuumdichtungsflansch-Kit |
Vakuumversiegelung aus Edelstahl Flansche mit einem Vakuummeter, |
elektrisch Anforderungen |
110 V, 220 V, 208-240 Vac, 50/60 Hz, einfach Phase |
HF-Generator Spezifikationen
Elektrische Anforderungen |
110 V, 220 V, 208-240 V, 50/60 Hz |
Ausgabe p ower |
5 bis 500 Watt, einstellbar in Schritten von +/- 1% |
HF-Frequenz |
13 MHz mit +/- 0,005% Stabilität |
Reflexionskraft |
200 Watt max. |
passend |
automatisch |
HF-Ausgang |
50 Ω, n-Typ, weiblich |
Kühlung |
Luft |
1. Wir liefern Maschinen mit batterie technologie unterstützung.
2. wir liefern vollständiger Satz von Lithium-Batterie-Ausrüstung für Laborforschung, Pilotforschung und Produktion lin e.

1 standard exportiert paket: interne kollisionsschutz, externe export holzkiste verpackung.
2 Versand per Express, per Flugzeug, per Schiff nach Kundenwunsch, um den am besten geeigneten Weg zu finden.
3 verantwortlich für den schaden während des versandprozesses, wird den schaden teil für sie kostenlos ändern.
