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1200 ° C PE / CVD-Ofen mit HF-Generator, Gasmisch- und Pumpsystem

  • Model Number:

    TMAX-1200PECVD
  • Delivery Time:

    15 days
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DESCRIPTION

1200 ° C pe / cvd Ofen mit HF-Generator, Gasmischung & amp; Pumpsystem



Vakuumpumpenwagen nur bei Ihnen erhältlich Kauf einer Pumpe und eines digitalen Vakuumreglers.

tmax-1200pecvd Serie chemische Gasphasenabscheidung (cvd) und plasmaunterstützter chemischer Dampf Mehrzonen-Spaltrohröfen für die Abscheidung (PECVD) verfügen über die berühmte kanthal & reg; (Schweden) Drahtheizelemente in hoher Qualität eingebettet mitsubishi & reg; (Japan) Aluminiumoxidfaserisolierung. Alle Stahl Dual-Layer-Gehäuse sorgt für Langlebigkeit und Minimiert den Wärmeverlust zur Außenfläche.

Ofenbetrieb wird gesteuert durch shimaden & reg; (Japan) 40-Segment-Digital-Controller mit integriertem RS485-Digital-Kommunikationsanschluss und USB-Adapter, so dass der Benutzer eine Verbindung zu einem PC für die Fernbedienung und Überwachung des Ofens. Sie können Testergebnisse auch speichern oder exportieren.

Alle unsere Öfen haben ein Zertifikat.

Eigenschaften

· kompakt, tragbar und leicht Design.

· niedrigere Verarbeitungstemperaturen erforderlich vergleiche mit herkömmlichen cvds.

· Film Stress kann durch gesteuert werden Hoch- / Niederfrequenz-Mischtechniken.

· geteilte Ofenkammer für schnelles und einfaches U-Bahn-Zugang.

· Das Standardpaket enthält einen Satz von Vakuumdichtungsflansche aus Edelstahl mit Ventilen und Druckmesser.

· mikroprozessorbasierte Selbstoptimierungs-PID Die Regelung sorgt für einen optimalen thermischen Prozess bei minimalem Überschwingen.

· Prozesse mit mehreren Atmosphären in a Einzelzyklus möglich (z. B .: Ausbrennen des Bindemittels an der Luft und Sintern der Teile unter Druck) raues Vakuum oder Inertgasumgebung.)

· Eingebauter Amperemeter und Doppelvoltmeter zur einfachen Überwachung und Fehlersuche.

· Eingebaute Computerschnittstelle.

· langlebiges Thermoelement vom Typ k.

· Die verschiebbare Ofenoption bietet Ihnen ultra schnelle Abkühlraten

Sicherheit

· Überhitzungsschutz schaltet die ab Ofen, wenn die Temperatur außerhalb des zulässigen Bereichs liegt (siehe Regler manuell) oder wenn das Thermoelement defekt oder defekt ist.

· Der Stromausfallschutz wird fortgesetzt Ofenbetrieb unmittelbar nach dem Ausfall, wenn die Stromversorgung wiederhergestellt ist.

Warnung! Füllen Sie den Ofen niemals mit explosiven Gasen, einschließlich Wasserstoff, Kohlenmonoxid und Methan.


PECVD Furnace

CVD Furnace

PECVD Furnace

PECVD Furnace

Ofen, Vakuumpumpe und Gas Spezifikationen des Mischsystems

Schlauchmaterial

Quarz

Heizkörper

kanthal & reg; (Schweden) Widerstandsspulendraht

max. vs konstante Arbeitstemperaturen

1200 ° C max. und 1100 ° C konstant

Thermoelementtyp

k

feuerfeste Auskleidung

mitsubishi & reg; (Japan) Faser mit 1500 Graden   Aluminiumoxid

Temperaturregler

shimaden & reg; (japan) fp93 mit 4 programmen   und 40 Segmente
(dh 4 x 10 Segmente oder 2 x 20 Segmente)

maximale Erwärmung & amp; Kühlung   Bewertung

& lt; 30 ° C / min

Temperaturregler   Präzision

+/- 1 ° C

Vakuumdichtungsflansch-Kit

Vakuumversiegelung aus Edelstahl   Flansche mit einem Vakuummeter,
zwei Ventile und vier Thermokeramikblöcke.

elektrisch   Anforderungen

110 V, 220 V, 208-240 Vac, 50/60 Hz, einfach   Phase



HF-Generator Spezifikationen

Elektrische Anforderungen

110 V, 220 V, 208-240 V, 50/60 Hz

Ausgabe p ower

5 bis 500 Watt, einstellbar in Schritten von +/- 1%

HF-Frequenz

13   MHz mit +/- 0,005% Stabilität

Reflexionskraft

200 Watt max.

passend

automatisch

HF-Ausgang

50   Ω, n-Typ, weiblich

Kühlung

Luft

1. Wir liefern Maschinen mit batterie technologie unterstützung.

2. wir liefern vollständiger Satz von Lithium-Batterie-Ausrüstung für Laborforschung, Pilotforschung und Produktion lin e.



1 standard exportiert paket: interne kollisionsschutz, externe export holzkiste verpackung.

2 Versand per Express, per Flugzeug, per Schiff nach Kundenwunsch, um den am besten geeigneten Weg zu finden.

3 verantwortlich für den schaden während des versandprozesses, wird den schaden teil für sie kostenlos ändern.


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