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1200 ° C Rohrofen mit internem Fahrmechanismus für HPCVD

  • Model Number:

    TMAX-1200X-S-HPCVD
  • Delivery Time:

    20 days
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DESCRIPTION

1200 ° C Rohrofen mit internem Fahrmechanismus für HPCVD



tmax-1200x-s-hpcvd ist ein kompakter 2 "split Rohrofen mit internem Probentransportsystem im Prozessrohr. Dies ermöglicht die Position & amp; Temperaturregelung des Probentisches oder Tiegel über Touchscreen-Digitalregler. es ist für multifunktionale konzipiert schnelle thermische Verarbeitung, wie z hybride physikalisch-chemische Abscheidung (hpcvd), schnell thermische Verdampfung (rte) und auch horizontaler Bridgman Kristallwachstum (hdc) unter verschiedenen atmosphären für den nachwuchs Kristallforschung.


Spezifikationen:

Spaltrohrofen

  • 208 - 240 Vac, 50 / 60Hz, 1,2 kW max. Energieverbrauch
  • Arbeitstemperatur: 1100 ° C kontinuierlich und 1200 ° C max.
  • 2 "Quarzrohr (50 mm o.d x 44 mm i.d x 450 mm l) mit        vakuumversiegelte Flansche.
  • optioanl: Sie können den Zweizonenrohrofen auf dem Bild unten auswählen        direkt gegen Aufpreis, um einen höheren Wärmegradienten oder eine längere Konstante zu erzeugen        Temperaturzone

- Zweizonenofen

Temperaturkontrolle

  • PID-Automatik über Halbleiterrelais mit 30 Stufen        programmierbar
  • Eingebauter Überhitzungs- und Thermoelementversagerschutz
  • +/- 1 ° c Genauigkeit
  • Thermoelement vom k-Typ
  • Heizzonenlänge: 200 mm (8 ")
  • konstante Temperaturzone: 60 mm (+/- 1 ° C @        1000 ° C)

Vakuumversiegelung

  • 2 "Schnellspannflansch mit 1/4" Verschraubungen, Vakuummeter        sowie Nadelventil auf der rechten Seite
  • Der rechte Flansch ist mit einem Edelstahlbalg verbunden        ist dehnbar bis zu 150 mm.
  • linker Flansch mit schnellgeklemmtem kf25-Vakuumanschluss und 1/4 '' Widerhaken        Entlüftungsventil
  • max. Vakuumniveau: 10e-2 Torr durch mechanische Pumpe und 10-e5 durch        Turbopumpe

internes Reisen   Mechanismus      &Ampere;
SPS-Steuertafel

  • ein 1/4 "Durchmesser x 24 '' langes k-Typ Thermoelement ist        Wird durch den rechten Flansch eingeführt, um ein Boot mit Minitiegel zu tragen        in der kammer.
  • Ein Schrittmotor kann den Tiegel im Inneren des Rohres von der        Heizzentrum am rechten Ende des Ofens, 100 mm max.
  • Touchscreen-Bedienfeld ermöglicht die Einstellung der Fahrstrecke und        Temperaturanzeige der Tiegelposition
  • Fahrgeschwindigkeit ist konstant bei 180mm / min. ( unterschiedliche Geschwindigkeit        Kontrolle ist auf Anfrage gegen Aufpreis erhältlich)
  • ein 50x20x20mm Mini-Tiegelboot (~ 20ml) ist auf einem installiert        thermisches Paar.
  • ain Probenhalter oder Graphitflachsubstrathalter für z        Der Wafer ist auf Anfrage erhältlich, zusätzliche Anpassungsgebühr wird erhoben        sich bewerben.

max. Heizung & amp; Kühlrate

die max heizung und kühlung   Die Geschwindigkeit kann durch Bewegen der Probe in die vorgewärmte heiße Zone und Bewegen der Probe erreicht werden   Probe aus der heißen Zone entnehmen. Die typische Rampe / Abkühlrate ist in aufgeführt   unten:

Heizung     Bewertung:

10 ° C / Sek. (150 ° C -     250 ° C);

7 ° C / Sek. (250 ° C -     350 ° C);

4 ° C / Sek. (350 ° C -     500 ° C);

3 ° C / Sek. (500 ° C -     550 ° C);

2 ° C / Sek. (550 ° C -     650 ° C);
1 ° C / s (650 ° C - 800 ° C);
0,5 ° C / s (800 ° C - 1000 ° C);

Kühlrate:

10ºC / s (950ºC - 900ºC);

7 ° C / Sek. (900 ° C - 850 ° C);

4 ° C / s (850 ° C - 750 ° C);

2 ° C / s (750 ° C - 600 ° C);
1,5 ° C / s (600 ° C - 500 ° C);
1 ° C / s (500 ° C - 400 ° C);
0,5 ° C / s (400 ° C - 300 ° C);



optionale Teile

  • Möglicherweise benötigen Sie ein rechtwinkliges Ventil & amp; Faltenbalg zum Anschließen        eine Vakuumpumpe (Klicken Sie auf das erste und zweite Bild, um es zu bestellen)
  • Korrosionsschutz-Digitalanzeige bis 10e-5 Torr ist optional        für cvd anwendung (pic 3)
  • Sie können ein Mehrkanal-Gasversorgungssystem für DVDs oder DVDs bestellen        Bedienung (Bild 4)

Maße

Garantie

Zwei Jahre eingeschränkte Garantie   mit lebenslanger Unterstützung (Verschleißteile wie Schläuche und O-Ringe sind   nicht von der Garantie abgedeckt)

Laptop, Software & amp; W-lan   Steuerung (optional)

  • Nagelneuer Laptop mit Microsoft Windows 10 und Microsoft Office 2013        (30 Tage kostenlose Testversion) zur sofortigen Verwendung.
  • labview-basiertes Temperiersystem Ermöglicht dem Benutzer das Bearbeiten        Temperaturprofil, Wärmebehandlungsrezept verwalten, Daten aufzeichnen und plotten        für mti öfen.
  • Eine drahtlose Fernbedienung ermöglicht den Betrieb von bis zu 300 Metern        Angebot.
  • Die oben genannten Funktionen sind auf Anfrage und gegen Aufpreis erhältlich (bis zu        1.000 USD). Bitte kontaktieren Sie uns für weitere Informationen.
  • Hinweis: Die Software ist nur        kompatibel mit dem yudian temperaturregler von mti



Beachtung

  • ce zertifiziert
  • Alle elektrischen Komponenten (& gt; 24 V) sind ul / erfüllt /        csa zertifiziert
  • Der Ofen ist betriebsbereit        tuv (ul61010) oder csa zertifizierung gegen aufpreis. Bitte


Warnung


  • Röhrenöfen mit Quarzröhren sind für den Einsatz unter Vakuum ausgelegt        und niedriger Druck & lt; 0,2 bar / 3 psi / 0,02 mpa
  • achtung: ein zweistufiger druckregler muss sein        auf der Gasflasche installiert, um den Druck auf unter 3 psi zu begrenzen        sichere Operation.
  • Vakuumgrenzwertdefinition für alle Quarzrohröfen: * Vakuum        Drücke dürfen nur bis 1000 ° C gefahrlos angewendet werden

Anwendungshinweise

dieses multifunktionale   ofen ist geeignet für die anwendungen in unten:

  • rte : Tiegel mit Verdunstung beladen        Material wird in die Mitte des Ofens gelegt, Probenhalter bewegen        zu einer stromabwärtigen Position mit geeigneter Temperatur, wo die        Abscheidung erfolgt.
  • hpcvd ähnliches Setup wie        Außerdem führen wir Eduktgas ein, um es mit Verdampfungsdampf zu mischen        Ablagerung vornehmen
  • horizontales Bridgman-Kristallwachstum Material und Saatgut in einen Tiegel füllen und hineinlegen        die Mitte des Ofens. Bewegen Sie den Tiegel mit der gewünschten Geschwindigkeit auf        wachsen einkristall unter geeigneten thermischen gradienten.
  • Wenn Sie Fragen und Anregungen haben, bitte        Kontaktieren Sie uns vor dem Kauf
  • nach cvd muss das graphen vom metallkatalysator übertragen werden        auf ein anderes Substrat für die meisten Anwendungen. mit dem        Graphen-Transferband kann der Rückstand gering sein
  • für horizontal gerichtete Kristallisation (hdc),        Sie können eine Gasdurchführung wie im Bild unten verwenden


1200°C HPCVD Tube Furnace





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1 standard exportiert paket: interne kollisionsschutz, externe export holzkiste verpackung.

2 Versand per Express, per Flugzeug, per Schiff nach Kundenwunsch, um den am besten geeigneten Weg zu finden.

3 verantwortlich für den schaden während des versandprozesses, wird den schaden teil für sie kostenlos ändern.



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