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1200 ° C vertikaler Pecvd-Ofen mit HF-Generator, Gasmischung und Pumpsystem

  • Model Number:

    TMAX-VerticalPECVD
  • Delivery Time:

    3 days
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DESCRIPTION

1200 ° C vertikaler Pecvd-Ofen mit HF-Generator, Gasmischung & amp; Pumpsystem


tmax-1200-pecvd Serien-Gasphasenabscheidungs- (cvd) und plasmaunterstützte Mehrzonen-Split-Tube-Öfen (pecvd) zeichnen sich durch die berühmten Eigenschaften aus kanthal & reg; (schweden) drahtheizelemente in hoher qualität eingebettet mitsubishi & reg; (Japan) Aluminiumoxidfaserisolierung. Das Dual-Layer-Gehäuse aus Stahl sorgt für Langlebigkeit und minimiert den Wärmeverlust an der Außenfläche.


Ofenbetrieb wird gesteuert durch shimaden & reg; (Japan) 40-Segment-Digitalregler mit integriertem RS485-Digitalkommunikationsanschluss und USB-Adapter, über den der Benutzer eine Verbindung zu einem PC herstellen kann, um den Ofen fernzusteuern und zu überwachen. Sie können Testergebnisse auch speichern oder exportieren.
Alle unsere Öfen sind CE-konform.

Eigenschaften

· kompaktes, tragbares und leichtes Design.

· im vergleich zu herkömmlichen cvds sind niedrigere verarbeitungstemperaturen erforderlich.

· Die Filmspannung kann durch Mischtechniken mit hoher / niedriger Frequenz gesteuert werden.

· Geteilte Ofenkammer für schnellen und einfachen Zugang zum Rohr.

· Das Standardpaket enthält einen Satz Edelstahl-Vakuumdichtungsflansche mit Ventilen und Druckmesser.

· Die mikroprozessorbasierte PID-Regelung mit Selbstoptimierung sorgt für einen optimalen thermischen Prozess bei minimalem Überschwingen.

· Prozesse mit mehreren Atmosphären in einem Zyklus sind möglich (z. B .: Ausbrennen des Bindemittels in Luft und Sintern der Teile unter rauem Vakuum oder Inertgas).

· Integriertes Ampere- und Doppelvoltmeter für einfache Überwachung und Fehlerbehebung.

· Eingebaute Computerschnittstelle.

· langlebiges Thermoelement vom Typ k.

· Die verschiebbare Ofenoption bietet Ihnen ultraschnelle Abkühlraten


Spezifikationen des Ofens, der Vakuumpumpe und des Gasmischsystems

Schlauchmaterial

Quarz

Heizkörper

kanthal & reg; (Schweden) Widerstandsspulendraht

max. vs konstante Arbeitstemperaturen

1200 ° C max. und 1100 ° C konstant

Thermoelementtyp

k

feuerfeste Auskleidung

mitsubishi & reg; (Japan) 1500er Faser-Aluminiumoxid

Temperaturregler

shimaden & reg; (japan) fp93 mit 4 programmen und 40 segmenten
(dh 4 x 10 Segmente oder 2 x 20 Segmente)

maximale Erwärmung & amp; Kühlrate

& lt; 30 ° C / min

Präzision des Temperaturreglers

+/- 1 ° C

Vakuumdichtungsflansch-Kit

Vakuumdichtungsflansche aus Edelstahl mit einem Vakuummeter,
zwei Ventile und vier Thermokeramikblöcke.

Elektrische Anforderungen

220 VAC, 3,5 kW, einphasig

HF-Generator Spezifikationen

Elektrische Anforderungen

208-240 Volt 50/60 Hz

Ausgangsleistung

5 bis 500 Watt, einstellbar in Schritten von +/- 1%

HF-Frequenz

13,56 MHz mit +/- 0,005% Stabilität

Reflexionskraft

10 Watt max.

passend

automatisch

HF-Ausgang

50 Ω, n-Typ, weiblich

Kühlung

Luft

Teilebeschreibung

Menge

Teilbild

Spaltrohrofen

1 Satz

Mehrkanal-Gasversorgungssystem

1 Satz

Plasma-HF-Netzteil (optional)

1 Satz

Vakuumpumpe und Gehäuse (optional)

1 Satz

Quarzrohr

1 Stck

Teflonschlauch (n steht für Anzahl der Schläuche)

n * 5

Vakuumdichtungsflansche aus Edelstahl mit Druckmesser

1 Satz

Edelstahlhaken

1 Stck

Aluminiumoxid-Keramik-Thermoblock

2 Paar

Thermohandschuhe

1 Paar

hohe temperatur al 2 O 3 Aluminiumoxid-Tiegel

5 Stück

Ersatzsicherung

2 Stück

USB / RS485-Computer-Interface-Kit

1 Satz

ofen und shimaden controller handbuch

2 Stück


PECVD furnace

1. Wir liefern Maschinen mit batterie technologie unterstützung.

2. wir liefern vollständiger Satz von Lithium-Batterie-Ausrüstung für Laborforschung, Pilotforschung und Produktion lin e.



1 standard exportiert paket: interne kollisionsschutz, externe export holzkiste verpackung.

2 Versand per Express, per Flugzeug, per Schiff nach Kundenwunsch, um den am besten geeigneten Weg zu finden.

3 verantwortlich für den schaden während des versandprozesses, wird den schaden teil für sie kostenlos ändern.


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