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1200 ℃ Doppelzonen Schiebe-Pecvd-Ofen
tmax-1200-1200 rutschfestes Zwei-Temperatur-Pecvd-System besteht aus tmax-1200-1200 Vakuumröhrenofen mit zwei Schlupftemperaturen, Quarzvakuumkammer, Hochfrequenzstromversorgung, GX-Gasversorgungssystem, Pumpsystem und Vakuummesssystem.
Haupteigenschaften:
1. Das Gas in der Quarzvakuumkammer wird durch Hochfrequenzversorgung in einen ionischen Zustand versetzt.
2. pecvd ist niedriger als normales cvd für die chemische bedampfung
3. Die Spannung der abgeschiedenen Filme kann durch die Frequenz der HF-Stromversorgung gesteuert werden
4. pecvd hat eine hohe abscheidungsrate, gute gleichmäßigkeit, konsistenz und stabilität als normales cvd.
5. weit verbreitet beim Wachstum von verschiedenen Filmen wie Siox, Sinx, Sioxny und amorphem Silizium (a-si: h) usw.
Diese Doppeltemperatur-Pecvd-Systemtechnik des Typs tl1200-1200 ist eine schnelle Erwärmungs- und Abkühltemperatur-Pecvd-Systemtechnik. Sie befindet sich im Temperaturbereich eines Doppel-Pecvd-Systems, das auf einem Paar Gleitschienen installiert ist.
Aufheiz- und Abkühlrate von bis zu 100 ° C / min.
Um die schnellste Erwärmung zu erzielen, heizen Sie den Ofen vorher auf die eingestellte Temperatur und bringen Sie ihn dann in die Probenposition.
Um die schnellste Abkühlung zu erzielen, stellen Sie den Ofen nach dem Erhitzen der Probe auf das andere Ende.
Aufheiz- und Abkühlgeschwindigkeit unter Vakuum oder Inertgas können 10 ° C / s erreichen, ist ein kostengünstiger schneller Aufheiz- und Abkühl-Temperaturbereich der Doppel-Pecvd-Systemtechnik.
1. Kanthal A1 Widerstandsdraht von Schweden
kanthal a1 original draht chinesischen widerstandsdrahtofen vs importierten widerstandsdrahtofen
(1) kann eine hohe Oberflächentemperatur 1420 erreichen ℃
(2) die Oberfläche ist Edelstahl (sehr hell, der Kunde sollte darauf achten), es wird nicht rosten, und die Nutzungszeit wird nicht von der Schlacke fallen.
(3) Daten des Kanthal-Widerstandsdrahtes werden heruntergeladen
(4) Website für Kanthal-Widerstandsdraht: www.kanthal.com
(5) der Widerstand ist ausgeglichen und das Temperaturfeld ist gleich gut
.jpg)
Die meisten Hersteller verwenden Fe-Cr-Al-Legierungen, die mit Mo-Widerstandsdraht dotiert sind
manchmal ist der widerstand ungleichmäßig und ein teil der wärme ist klein kanthal a1 widerstand ist gleichmäßig und wärmeausgeglichen, gute temperaturfeldwirkung
2. Installation des Luftschalters und des Auslaufschutzes:
Wenn Strom fließt oder Strom ausläuft, wird eine leere Besprechung automatisch getrennt.
3. kann mit dem Computer verbinden
dieser ofen ist mit kommunikationsschnittstelle und software ausgestattet, lässt sich direkt über den ofencomputer über jeden parameter steuern und kann vom computer pv über den ofen und den sv-temperaturwert sowie den instrumentenbetrieb die tatsächliche temperatur des ofenkurven-zeichnungscomputers beobachten Echtzeit, und kann die Temperaturdaten jeder Zeit halten, kann jederzeit abgerufen werden
4. Kammer
(1 ) Hochwertiger, hochreiner, polykristalliner Aluminiumoxid-Faser-Ofen mit Vakuumabsaugung und Filterformung.
(2). nehmen Sie japanische Technologie an, um sich zu bilden.
(3). der abstand und der abstand des widerstandsdrahtes im ofen sind nach bester wärmetechnologie japans angeordnet und das temperaturfeld wird mit thermosoftware simuliert
(4). Bei einer Erwärmung von 4 Wochen ist die Temperatur ausgeglichener
5. optionale UL-zertifizierte Schalttafel (alle durch die UL-Zertifizierung von importierten Elektrogeräten)
6. auslösen
Softstart-Strombegrenzungstrigger Die meisten Hersteller verwenden nichtbegrenzende xiamen-Bode-Trigger
.jpg)
1 Phasenschieber-Trigger (mit Sanftanlauf und Strombegrenzungsfunktion)
2. Strombegrenzungsfunktion, unabhängig davon, wie die Heizzeit des Elektroofens eingestellt wird, nachdem der Sekundärstrom des Transformators auf 170a oder weniger begrenzt ist. Nicht begrenzender Auslöser, wenn die Heizrate falsch oder zu schnell eingestellt ist. Schwachstrom ist sehr groß, das Gerät löst aus oder brennt aus.
3 Soft-Start-Funktion der Strom erhöht langsam den Strom die Auswirkung des Heizelements ist gering, was der Verlängerung der Lebensdauer des Heizelements förderlich ist
4 Die Schutzfunktion Wenn der Strom den Grenzstrom überschreitet, unterbricht der Auslöser automatisch die Auslöserfunktion, um den Stromschutzofen zu unterbrechen.
7. UL zertifizierter Transformator
1 Das Trafokabel besteht aus reinem Kupfer
2 Der Transformator klingt klein
3 Die Temperatur des Transformators ist niedrig
8. eine Vielzahl von Optionen zur Auswahl einer Vielzahl von Flanschen (Durchmesser von 25 bis 250 mm)
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Modell- |
tmax-1200-1200 - i |
tmax-1200-1200-ii |
tmax-1200-1200-iii |
tmax-1200-1200-iv |
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Leistung |
3 kw |
3 kw |
4 kw |
4 kw |
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Schlauchgröße |
120 (od) x1800mm dia |
60 (od) x1800mm dia |
Ø 80 x 1800 mm |
100 (od) x1800mm dia |
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Gesamtabmessungen (lxdxh) |
1800 x 480 x 680 |
1800 x 410 x 610 |
1800 x 410 x 610 |
1800 x 460 x 660 |
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die Versorgungsspannung |
220 v |
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Gleitschienenmaterial |
Edelstahl 304 |
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Schiebemodus |
rostfreies Wälzlager |
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Anzahl der Phasen |
einzelphase |
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Heizkörper |
importieren schwedisch canthal a1 widerstand draht klicken in daten download |
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der Steuermodus |
mit dem elektrischen Programm-Thermometer (Standard)
(Um das importierte Instrument zu ersetzen, müssen wir eine weitere Gebühr bezahlen.)
fp93 temperaturregelungstabelle (shimaden) europäische instrumente
Touchscreen-Instrument |
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der Temperaturregelungsmodus |
pid |
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Gleichmäßiger Schutz und Display |
Ja |
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Übertemperaturschutz |
Ja |
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Überstromschutz |
Ja |
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Kontrollgenauigkeit |
+/- 1 ℃ |
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der Auslöser |
Phasenverschiebung auslösen |
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Elektrogeräte |
Zhejiang Chint |
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silikongesteuerter Gleichrichter |
106 / 16e Westtor, Deutschland |
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die höchste Temperatur |
Temperaturzone 1: 1200 ℃ Temperaturzone 2: 1200 ℃ |
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die Nenntemperatur |
Temperaturzone 1: 1100 ℃ Temperaturzone 2: 1100 ℃ |
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Erwärmungsrate |
die 20 ℃ / min oder weniger (kann entsprechend der Anforderung ändern) |
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empfohlene Heizrate |
10 ℃ / min oder weniger |
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Modell des Thermoelements |
Zonen 1: Temperaturbereich von k Typ 2: k Typ |
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Heizlänge |
Zonen 1: Temperaturbereich von 200 mm. 2: 200 mm |
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elektrische Zertifizierung |
ce |
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umgebende Oberflächentemperatur |
45 ℃ oder weniger |
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HF-Stromversorgung |
(Plasma-Generator) |
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Leistungsbereich |
0-500 w |
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maximale reflektierte Leistung |
200 w. |
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Arbeitsfrequenz |
HF: 13,56 MHz plus oder minus 0,005% |
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Stromstabilität |
+/- 0,1% |
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harmonische Komponente |
- 50 oder weniger dbc |
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HF-Breite |
0-600 - mm ist einstellbar |
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Matching-Modus |
automatisch |
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Kühlmodus |
Luft kalt |
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Lärm |
die & lt; 50 db |
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die Hochfrequenzschnittstelle |
50 Ω n - Typ |
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Eingangsleistung |
208-240 - v 50/60 Hz |
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Hauptparameter des Gasversorgungssystems gx
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Massendurchflussmesser |
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Kanäle: |
1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8 (optional) |
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Verbindungstyp |
Doppelkassettenanschluss aus Edelstahl |
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Arbeitsdruckbereich des Systems |
0,1 ~ 0,5 mpa |
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Arbeitstemperatur |
5-45 ℃ |
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Druck Vakuum Uhr |
0,1 ~ 0,15 mpa bis 0,01 mpa / Karton |
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statische Mischkammer |
Durchmesser 50 x 400 mm |
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Schnittstelle |
dia6 1/4 " |
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die Stromversorgung |
220 v |
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Größe |
600 x 600 x 600 |
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Wellrohr |
kf25x1000mm |
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Mit diesem System kann der Vakuumgrad erreicht werden |
10-1 der pa |
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Vakuum-Prallventil |
kf25 |
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vrd bis 8 Vakuumpumpe |
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Modell- |
vrd bis 8 |
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Partialdruck begrenzen |
5 x 10-2 pa |
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einlass auslass schnittstelle |
kf25 |
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Motor Geschwindigkeit |
1440 U / min |
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Extraktionsrate |
2,2 l / s |
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Motorleistung |
0,4 kw |
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perfeer acp1 ölfreie mehrstufige wurzelpumpe (plan 2) |
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Modell- |
acp15 |
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Netzteil |
ac100 ~ 240v 50 / 60hz |
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Leistung |
450 w |
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Abgasschnittstelle |
kf25 |
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Gewicht |
25 kg |
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Die maximale Heliumleckrate beträgt |
5 · 10-8 pa m3 / s |
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extremer Vakuumgrad |
0,02 Torr |
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die Extraktionsrate ist |
14 m3 / h |
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Modell- |
zdr - 1 |
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Leistung |
25 w. |
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vakuum grad messbereich |
0,1-10 5 pa |
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Widerstand Silizium |
was zj zu 52 t hatte |
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schweden (inficon) pirani kapazitätsvakuummeter (optional) |
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Modell- |
pcg554 |
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Eingangsspannung |
24V 1a DC (ausgestattet mit 220V Transformator) |
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Vakuummeter-Schnittstelle |
kf16 |
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Digitaler Bildschirm |
Digitalanzeige (Bildschirmgröße 20x14mm), deren Datenanzeigeeinheit Torr ist |
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Produktgröße |
46 mm x 28 mm x 126 mm (L x B x H) |
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das Gewicht der |
5 lbs |
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Detektion von Gas |
Verschiedene Gase können nachgewiesen werden, einschließlich gemischter Gase, genau und wiederholbar. |
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ob der Korrosionsschutz |
Korrosionsschutz |
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die Reaktionszeit |
30 ms oder weniger |
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Messbereich |
3,8 x 10 & supmin; & sup5; & supmin; ¹² & sup5; Torr |
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Molekularpumpeneinheit (optional) |
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Eingangsspannung der Einheit |
380 v / 220 v |
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Wellrohr |
kf40x1000 |
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Vakuum-Prallventil |
kf40 |
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Gehäusegröße |
600 x 600 x 600 |
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Molekularpumpenmodell |
fj620 |
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Eingangsspannung |
380 v |
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Einlassflansch der Molekularpumpe |
DN160 |
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Pumprate der Molekularpumpe l / s (für Luft) |
600 |
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Molekularpumpen-Grenzdruck (pa) |
6 x 10-7 |
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Kühlsystem |
wassergekühlt |
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Kühlwasserdruck (mpa) |
0,1 bis 0,2 |
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Kühlwassertemperatur |
& lt; 25 ℃ & lt; p = & gt; |
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die Umgebungstemperatur |
0 ~ 40 ℃ |
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Vorgeschlagener Startdruck |
& lt; 100 pa & lt; p = & gt; |
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Motorvakuumpumpe rvp - 6 |
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Leistung |
0,75 kw |
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Stromspannung |
380 v |
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Geschwindigkeit |
1450 U / min |
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Einlassdurchmesser |
kf25 / kf40 |
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Pumpenförderrate (l / s) |
6 |
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Enddruck |
4 x 10-2 pa |
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|
deutsche pfeiffer vakuumpumpe |
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Stromspannung |
220 v |
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|
Leistung |
110 w. |
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Extraktionsschnittstelle |
kf40 |
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das Gewicht der |
150 kg |
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Pumpendrehzahl der vorderen Pumpe |
0,9 m 3 / h |
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Extraktionsrate (n2) |
33 m / s |
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Compound-Vakuummeter |
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zusammengesetztes Vakuummessgerät Modell |
zdf |
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die Stromversorgung |
220 v 55 w |
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Kontrollgenauigkeit |
plus oder minus 1% |
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Messbereich des Vakuummeters |
10-5-10 5 pa |
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|
Teile |
Nummer |
|
tl1200-1200 Rohrofen |
1 Satz |
|
Quarzrohr |
1 |
|
ss Flansch |
1 Satz |
|
Edelstahlhaken |
1 |
|
Aluminiumoxid-Ofenstopfen |
3 |
|
Hochtemperaturhandschuhe |
1 Paar |
|
Aluminiumoxid-Tiegel |
1 |
|
Ｋ Thermoelement |
1 |
|
485 Schnittstellen und Software transformieren （ wahlweise ） |
1 Satz |
|
Anleitung |
1 |
|
Flange support |
1 |
|
Gasversorgungssystem |
1 |
|
vs-0.1air Entnahmesystem |
1 |
|
HF-Leistung |
1 |
|
Zwinge |
4 个 |
|
brüllen |
1 |
|
Vakuum-Prallventil |
1 |
|
zyl stecker （ n steht für die Anzahl der Kanäle ） |
n |
|
Ventilanschluss |
2 |
|
ptfe pipe (n steht für die Anzahl der Kanäle) |
n * 5 |
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