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1200c Drehrohrofen mit einer Heizzone (60 mm Od)

  • Model Number:

    TMAX-DSP-1200PECVD-X
  • Delivery Time:

    3 days
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DESCRIPTION

1200c Drehrohrofen mit einer Heizzone (60 mm Od)



tmax-dsp-1200pecvd-xz Das Pe-Cvd-Röhrenofensystem mit drei Zonen und 1200 ° C besteht aus einer 500-W-HF-Plasmaquelle, einem Röhrenofen mit integriertem Kanal-Präzisionsmassenstrommesser mit Gasmischbehälter und einer hochwertigen ölfreien Vakuumpumpe. ein solcher pe-cvd-ofen ist ein neues werkzeug zum züchten von nanodrähten oder graphen- oder sic-beschichtungen.

Spezifikationen:

Leistung

3,5 kw

Schlauchgröße

Ø 60 (od) x 1200 mm

Produktabmessungen (mm)

1300 x 420 x 1200

Rohrdrehzahl

0 - 25 U / min variabel

Neigungswinkel des Ofens

-10 - 30 °

Eigenschaften

1. zwei programmierbare Präzisionstemp. Controller mit 30 Segmenten.

2. zwei getrennt regelbare Heizzonen:

    • 200 mm Länge für jede Heizzone
    • 400mm Gesamtheizlänge
    • 250 mm Heizfläche mit konstanter Zentraltemperatur, wenn beide Zonen auf die gleiche Temperatur erwärmt wurden

Ofenstrukturen

1. Spaltrohrofen mit Gleitschiene

2. max. 1150 ºC für kontinuierliche Erwärmung

3. Mehrprogrammierbare digitale Präzisionstemperaturregler mit 30 Segmenten.

4. Eingangsleistung: 208 - 240 V AC Eingang, einphasig bei max. 4kw

Plasma-HF-Netzteil

1. Ausgangsleistung: 5 - 500 W einstellbar mit ± 1% Stabilität.

2. HF-Frequenz: 13,56 MHz ± 0,005% Stabilität.

3. Reflexionsleistung: 10w max.

4. passend: automatisch

5. HF-Ausgang: 50 Ω, n-Typ, weiblich

6. Geräusch: & lt; 30 dB.

7. Kühlung: Luftkühlung.

8. Leistung: 208-240 VAC, einphasig, 50/60 Hz

Korrosionsschutzmanometer

1. 3,8 x 10 -5 bis 1125 Torr Messbereich

2. Korrosionsschutz, gasunabhängig

3. Hohe Genauigkeit und Reproduzierbarkeit in der Atmosphäre für eine zuverlässige Erkennung des atmosphärischen Drucks

4. Schnelle Atmosphärenerkennung eliminiert Wartezeiten und verkürzt den Prozesszyklus

5. einfach austauschbarer Stecker & amp; Sensorelement spielen

Vakuumpumpstation und Ventile

1. Die ölfreie Hochgeschwindigkeits-Trockenvakuumpumpe (120 l / min) von pfeiffer mit einer Druckgrenze von 10 bis 3 Torr ist im Hochleistungsmobilwagen installiert

2. Adapter kf25 und Edelstahlrohr werden zwischen Pumpe und Rohrflansch mit Kugelhahn für kundenseitiges Plug-and-Play verbunden

3. Ein Vakuum von 10e-2 Torr kann innerhalb des Verarbeitungsrohrs erreicht werden

Massendurchflussmesser & amp; Gasmischstation

Es wird in einem mobilen Hochleistungswagen installiert, in dem der Röhrenofen oben platziert werden kann. Der integrierte LCD-Touchscreen ermöglicht eine einfache Steuerung des Gasdurchflusses für jeden unabhängigen Kanal.

1. Arbeitstemperatur: 5 ~ 45 ° C

2. max. Druck: 3x10 6 pa

3. Genauigkeit: ± 1,5% fs

4. Auskleidung: ± (0,5-1,5)% fs.

5. Doppelgenauigkeit: ± 0,2% fs.

6. Steuerbereich: 5,10,20,30,50,100,200,300,500sccm oder 1,2,3,5,10slm.

Heizung & amp; Abkühlraten

    • RS485-Anschluss und Software sind installiert und ermöglichen die Fernsteuerung des Temperaturprofils per PC.
    • Um die maximale Heizrate zu erreichen, muss der Benutzer den Ofen auf die gewünschte Temperatur vorheizen und dann den Ofen in die Probenzone des Röhrchens schieben
    • um die max. Abkühlrate, bewegen Sie den beheizten Ofen von der heißen in die kalte Zone

Erwärmungsrate:

15ºC / s (RT - 150ºC);

10ºC / s (150ºC - 250ºC);

7ºC / s (250ºC - 350ºC);

4 ° C / s (350 ° C - 500 ° C);

3 ° C / s (350 ° C - 550 ° C);

2 ° C / s (550 ° C - 650 ° C);
1 ° C / s (650 ° C - 800 ° C);
0,5 ° C / s (800 ° C - 1000 ° C);

Kühlrate:

15ºC / s (1000 bis 950ºC);

10ºC / s (950ºC - 900ºC);

7 ° C / Sek. (900 ° C - 850 ° C);

4 ° C / s (850 ° C - 750 ° C);

2 ° C / s (750 ° C - 600 ° C);
1,5 ° C / s (600 ° C - 500 ° C);
1 ° C / s (500 ° C - 400 ° C);
0,5 ° C / s (400 ° C - 300 ° C);

Garantie

Zwei Jahre eingeschränkte Garantie mit lebenslanger Unterstützung.

Anwendungshinweise

Röhrenöfen mit Quarzröhren sind für die Verwendung unter Vakuum und Niederdruck & lt; 0,12 mpa (absoluter Druck).
achtung: ein zweistufiger druckregler muss an der gasflasche installiert werden, um den druck für einen sicheren betrieb auf unter 3 psi zu begrenzen.
Die Durchflussrate für Gase sollte auf & lt; 200 sccm (oder 200 ml / min) zur Reduzierung von Wärmeschocks auf das Röhrchen.
Vakuumgrenzwertdefinition für alle Quarzrohröfen: * Vakuumdrücke dürfen nur bis 1000 ° C sicher angewendet werden.
Wenn Sie ein Pecvd-System mit einer Röhrengröße von mehr als 4 Zoll betreiben, halten Sie bitte immer einen Abstand von mehr als 1 Meter zur Plasmaquelle ein, nachdem der Plasmaerzeuger seine Arbeit aufgenommen hat.


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