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Programmierbarer Vakuum-Aufspann-Schleuderbeschichter (500-6000 U / min, max. 8 "Wafer) mit optionaler Heizabdeckung

  • Model Number:

    TMAX-XT-20
  • Delivery Time:

    20 Days
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DESCRIPTION

Programmierbarer Vakuum-Aufspann-Schleuderbeschichter (500-6000 U / min, max. 8 "Wafer) mit optionaler Heizabdeckung


Spezifikationen:

Struktur

  • Aluminiumgussgehäuse für stabiles Schleudern.
  • Ablauf und Vakuumpumpenanschluss befinden sich auf der Rückseite.
  • Ein Filter ist im Standardpaket enthalten. Es dient zum Anschluss der Pumpe und des Beschichtungsgeräts, um zu verhindern, dass Abwasser in die Pumpe fließt.
  • Eine ölfreie Pumpe ist schloss ich ein n das Standardpaket.
Kammer & amp; Vakuumspannfutter

  • Der Kammerdurchmesser beträgt 250 mm und kann Wafer mit einem Durchmesser von maximal 8 Zoll oder einem Quadrat von 5 Zoll x 5 Zoll aufnehmen.
  • Die Spinnkammer besteht aus korrosionsbeständigem PP.
  • ein 6 "Vakuumfutter und O-Ring einspannen sind für die Aufnahme von 6 "- und 8" -Wafern enthalten.
  • 1 Stück Klebeband (6 '' B x 24 '' L) ist enthalten zum Beschichten von unregelmäßig geformten Substraten oder Wafern mit einer Größe & lt; 6.
Schleuderdrehzahl

  • Digitales Bedienfeld mit zwei programmierbaren Segmenten mit unterschiedlichen Schleuderzeiten und -geschwindigkeiten.
  • 500 - 6000 U / min einstellbare Schleuderdrehzahl für jedes Segment.
Flüssigkeit injizieren

  • 20-ml-Spritze wird verwendet, um das Beschichtungsmaterial zu enthalten.
  • Die Höhe des Spritzenhalters kann frei entlang der Stützstange eingestellt und gedreht werden.
wahlweise
  • Sie können wählen elektronische Präzisions-Einkanalpipette: 20 - 200ul für eine genauere Beschichtung.
  • Die Verwendung von Plasma-Reinigern zur Behandlung der Substratoberfläche vor dem Beschichten kann die Filmqualität verbessern.
  • Sie können unser neues Produkt in Betracht ziehen: beheizbare Spritze .
  • Vakuum-Flash-Baugruppe für DIY-Vakuum-Flash-unterstützten Lösungsprozess (vasp), bis zu 5 mtorr ist verfügbar.
  • Heizdeckel mit digitalem Temperaturregler bis 100 ° C (max. Dauer & lt; 1 Minute) ist gegen Aufpreis erhältlich ($ 2495), wodurch die Probe vor Ort während und nach dem Beschichten getrocknet werden kann. Klicken Sie auf das Demo-Video unten, um Einzelheiten zu erfahren.
Eingangsleistung
  • AC 110V / 220V wählbar.
  • Auf der rechten Seite des Vtc-200 befindet sich eine eingebaute Steckdose. Es dient zur Stromversorgung der Vakuumpumpe. Die Ausgangsspannung dieses Netzteils hängt von der Eingangsspannung des Hauptstromkreises des Spin Coaters ab. (Wenn beispielsweise der Schleuderbeschichter an die 110-V-Wechselstromsteckdose angeschlossen ist, liefert die eingebaute Steckdose 110-V-Wechselstrom.)
Motorleistung 90VDC, 150W
Produktabmessungen
500 mm (l) x 400 mm (d) x 400 mm (h)
Nettogewicht 20 kg
Beachtung
  • ce zertifiziert
  • Die nrtl-Zertifizierung ist auf Anfrage gegen Aufpreis erhältlich (bitte informieren Sie uns vor der Bestellung, wenn Sie nrtl benötigen).
Garantie
  • zwei Jahre mit lebenslanger Unterstützung begrenzt.
  • Rost und Schäden, die auf unsachgemäße Lagerung oder Wartung zurückzuführen sind, fallen nicht unter die Garantie.


Spin Coater

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1 exportiertes Standardpaket: interner Antikollisionsschutz, externes Exportholzkistenpaket
2 Versand per Express, per Flugzeug, per Schiff nach Kundenwunsch, um die am besten geeignete Versandart vorzuschlagen
3 verantwortlich für den schaden während des versandprozesses, ändern sie die schaden teil kostenlos
4 Versorgung mit geeignetem Spannungseingang und Netzstecker gemäß den länderspezifischen Anforderungen des Kunden.
5 Lieferung mit co, eco, form a, form e und allen anderen Originalzertifikaten für Einfuhrzollabfertigung und Steuerermäßigung.




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