Hochfrequenzgenerator für 50, 80 und 125 mm Rohröfen

Das PECVD-System besteht aus einem Röhrenofen, einer Quarzvakuumkammer, einem Vakuumsystem, einem Gasversorgungssystem und einem HF-Stromversorgungssystem. Hauptsächlich verwendet in: Metallfilmen, Keramikfilmen, Verbundfilmen, Graphen und anderem Wachstum. Es ist einfach, die Funktion zu erhöhen Das PECVD-System hat die Vorteile einer hohen Abscheidungsrate, einer guten Gleichmäßigkeit, einer guten Konsistenz und Stabilität.

Leistungsbereich	0-500W
maximale reflektierte Leistung	200w
Arbeitsfrequenz	rf ： 13,56 MHz ± 0,005%
pw stabilität	+/- 0,1%
harmonische Komponente	≤ -50dbc
HF-Breite	0-600mm einstellbar
Matching-Modus	Auto
Kühlmodus	Luft kalt
Lärm	& lt; 50 dB
HF-Schnittstelle	50 Ω n-Typ
Eingangsleistung	208-240 V 50/60 Hz

1. Wir liefern Maschinen mit batterie technologie unterstützung.

2. wir liefern vollständiger Satz von Lithium-Batterie-Ausrüstung für Laborforschung, Pilotforschung und Produktion lin e.

1 standard exportiert paket: interne kollisionsschutz, externe export holzkiste verpackung.

2 Versand per Express, per Flugzeug, per Schiff nach Kundenwunsch, um den am besten geeigneten Weg zu finden.

3 verantwortlich für den schaden während des versandprozesses, wird den schaden teil für sie kostenlos ändern.