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Pecvd-Röhrenofen mit drei Temperaturzonen

  • Model Number:

    TMAX-1200-1400-1200
  • Delivery Time:

    12 days
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DESCRIPTION

Pecvd-Röhrenofen mit drei Temperaturzonen


tmax-1200-1400-1200 Das System besteht aus einem Vakuumröhrenofen T11200, einer Quarzvakuumkammer, einer HF-Stromversorgung, einem GX-Gasversorgungssystem, einem Pumpsystem und einem Vakuummesssystem.

Haupteigenschaften:

1. Das Gas in der Quarzvakuumkammer wird durch Hochfrequenzversorgung in einen ionischen Zustand versetzt.

2. pecvd ist niedriger als normales cvd für die chemische bedampfung.

3. Die Spannung der abgeschiedenen Filme kann durch die Frequenz der HF-Stromversorgung gesteuert werden.

4. pecvd hat eine hohe abscheidungsrate, gute gleichmäßigkeit, konsistenz und stabilität als normales cvd.

5. weit verbreitet beim Wachstum von verschiedenen Filmen wie Siox, Sinx, Sioxny und amorphem Silizium (a-si: h) usw.

tmax1200-1400-1200-h-pe Systemtechnik für das schwedische Kanthal-Widerstandsdraht-Heizelement mit Doppelmantelstruktur und 30-Programm-Temperaturregelungstabelle, Phasenschieber, Thyristorregelung, Ofen aus polykristallinem Aluminiumoxid-Fasermaterial, Flanschdichtung aus rostfreiem Stahl an beiden Enden des Ofenrohrs, Edelstahlflansch Installation haben einen Mund, Ventil und Manometer, Vakuum, Vakuum-Grad kann 10-3 pa erreichen, Niedertemperatur-Feldausgleich, Oberflächentemperatur, Hebetemperaturrate, Energieeinsparung, Preiszugeständnisse, etc.

1. Kanthal A1 Widerstandsdraht von Schweden

kanthal a1 original draht chinesischen widerstandsdrahtofen vs importierten widerstandsdrahtofen

(1) kann eine hohe Oberflächentemperatur 1420 erreichen

(2) die Oberfläche ist Edelstahl (sehr hell, der Kunde sollte darauf achten), es wird nicht rosten, und die Nutzungszeit wird nicht von der Schlacke fallen.

(3) Daten des Kanthal-Widerstandsdrahtes werden heruntergeladen

(4) Website für Kanthal-Widerstandsdraht: www.kanthal.com

(5) der Widerstand ist ausgeglichen und das Temperaturfeld ist gleich gut

Die meisten Hersteller verwenden Fe-Cr-Al-Legierungen, die mit Mo-Widerstandsdraht dotiert sind

manchmal ist der widerstand ungleichmäßig und ein teil der wärme ist klein kanthal a1 widerstand ist gleichmäßig und wärmeausgeglichen, gute temperaturfeldwirkung

2. Installation des Luftschalters und des Auslaufschutzes:

Wenn Strom fließt oder Strom ausläuft, wird eine leere Besprechung automatisch getrennt.

3. kann mit dem Computer verbinden

dieser ofen ist mit kommunikationsschnittstelle und software ausgestattet, lässt sich direkt über den ofencomputer über jeden parameter steuern und kann vom computer pv über den ofen und den sv-temperaturwert sowie den instrumentenbetrieb die tatsächliche temperatur des ofenkurven-zeichnungscomputers beobachten Echtzeit, und kann die Temperaturdaten jeder Zeit halten, kann jederzeit abgerufen werden

4. Kammer


(1 ) Hochwertiger, hochreiner, polykristalliner Aluminiumoxid-Faser-Ofen mit Vakuumabsaugung und Filterformung.

(2). nehmen Sie japanische Technologie an, um sich zu bilden.

(3). der abstand und der abstand des widerstandsdrahtes im ofen sind nach bester wärmetechnologie japans angeordnet und das temperaturfeld wird mit thermosoftware simuliert

(4). Bei einer Erwärmung von 4 Wochen ist die Temperatur ausgeglichener

5. optionale UL-zertifizierte Schalttafel (alle durch die UL-Zertifizierung von importierten Elektrogeräten)

6. auslösen

Softstart-Strombegrenzungstrigger Die meisten Hersteller verwenden nichtbegrenzende xiamen-Bode-Trigger

1 Phasenschieber-Trigger (mit Sanftanlauf und Strombegrenzungsfunktion)

2. Strombegrenzungsfunktion, unabhängig davon, wie die Heizzeit des Elektroofens eingestellt wird, nachdem der Sekundärstrom des Transformators auf 170a oder weniger begrenzt ist. Nicht begrenzender Auslöser, wenn die Heizrate falsch oder zu schnell eingestellt ist. Schwachstrom ist sehr groß, das Gerät löst aus oder brennt aus.

3 Soft-Start-Funktion der Strom erhöht langsam den Strom die Auswirkung des Heizelements ist gering, was der Verlängerung der Lebensdauer des Heizelements förderlich ist

4 Die Schutzfunktion Wenn der Strom den Grenzstrom überschreitet, unterbricht der Auslöser automatisch die Auslöserfunktion, um den Stromschutzofen zu unterbrechen.

7. UL zertifizierter Transformator

1 Das Trafokabel besteht aus reinem Kupfer

2 Der Transformator klingt klein

3 Die Temperatur des Transformators ist niedrig

8. eine Vielzahl von Optionen zur Auswahl einer Vielzahl von Flanschen (Durchmesser von 25 bis 250 mm)

Modell-

tmax-1200-1400-1200

Leistung

6kw

Schlauchgröße

Ø 60 (od) x 2700 mm

die Versorgungsspannung

220 v

Anzahl der Phasen

einzelphase

Heizkörper

importieren schwedisch canthal a1 widerstand draht klicken in daten download

der Steuermodus

mit dem elektrischen Programm-Thermometer (Standard)
1. 30 Programmsteuerungstemperatur intelligente PID-Einstellung.
2. Der Heizkreis des Elektroofens kann automatisch unterbrochen werden, wenn er durch Wärme geschützt oder versehentlich unterbrochen wurde. (Wenn die Ofentemperatur 1200 Grad überschreitet oder das Thermoelement defekt ist, wird das Wechselstromrelais im Hauptstromkreis automatisch abgeschaltet, der Hauptstromkreis wird unterbrochen, das Licht auf dem Bedienfeld erlischt, das Licht erlischt, der begrenzte elektrische Schutzofen.
3. mit 485 kommunikationsschnittstelle (standard und standard für wahl software)
4. es hat die Funktion des Stromausfallschutzes, dh wenn der Strom abgeschaltet ist, startet das Programm nicht von der Anfangstemperatur, sondern der Ofen beginnt zu steigen, wenn der Strom abgeschaltet ist.
Das Gerät hat die Funktion der Temperatur-Selbsteinstellung


(Um das importierte Instrument zu ersetzen, müssen wir eine weitere Gebühr bezahlen.)

fp93 temperaturregelung tableeuropean instruments touchscreen instrument

(shimaden)

der Temperaturregelungsmodus

pid

Gleichmäßiger Schutz und Display

Ja

Übertemperaturschutz

Ja

Überstromschutz

Ja

Kontrollgenauigkeit

+/- 1

der Auslöser

Phasenverschiebung auslösen

Elektrogeräte

Zhejiang Chint

silikongesteuerter Gleichrichter

106 / 16e Westtor, Deutschland

die höchste Temperatur

Temperaturzone 1: 1200 Temperaturzone 2: 1200

die Nenntemperatur

Temperaturzone 1: 1100 Temperaturzone 2: 1100

Erwärmungsrate

die 20 / min oder weniger (kann entsprechend der Anforderung ändern)

empfohlene Heizrate

10 / min oder weniger

Modell des Thermoelements

Zonen 1: Temperaturbereich von k Typ 2: k Typ

Heizlänge

Zonen 1: Temperaturbereich von 200 mm. 2: 200 mm

elektrische Zertifizierung

ce

umgebende Oberflächentemperatur

45 oder weniger

HF-Stromversorgung

(Plasma-Generator)

Leistungsbereich

0-500 w

maximale reflektierte Leistung

200 w.

Arbeitsfrequenz

HF: 13,56 MHz plus oder minus 0,005%

Stromstabilität

+/- 0,1%

harmonische Komponente

- 50 oder weniger dbc

HF-Breite

0-600 - mm ist einstellbar

Matching-Modus

automatisch

Kühlmodus

Luft kalt

Lärm

die & lt; 50 db

die Hochfrequenzschnittstelle

50 Ω n - Typ

Eingangsleistung

208-240 - v 50/60 Hz

Hauptparameter des Gasversorgungssystems gx

Massendurchflussmesser
das Standardsortiment
unter Verwendung des Protonenflussreglers 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 sccm, 1, 2, 3, 5, 10 slm
(Sie können den Bereich des Bereichs und die Art des Gases wählen)
Maximaler Arbeitsdruck 3 mp
die Genauigkeit von plus oder minus 1,5%
der Druckabfall & lt; 0,01 mPa & lt; p = & gt;
Wiederholgenauigkeit plus oder minus 0,2% fs

Kanäle:

1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8 (optional)

Verbindungstyp

Doppelkassettenanschluss aus Edelstahl

Arbeitsdruckbereich des Systems

0,1 ~ 0,5 mpa

Arbeitstemperatur

5-45

Druck Vakuum Uhr

0,1 ~ 0,15 mpa bis 0,01 mpa / Karton

statische Mischkammer

Durchmesser 50 x 400 mm

Schnittstelle

dia6 1/4 "

die Stromversorgung

220 v

Größe

600 x 600 x 600

Wellrohr

kf25x1000mm

Mit diesem System kann der Vakuumgrad erreicht werden

10-1 der pa

Vakuum-Prallventil

kf25

vrd bis 8 Vakuumpumpe

Modell-

vrd bis 8

Partialdruck begrenzen

5 x 10-2 pa

einlass auslass schnittstelle

kf25

Motor Geschwindigkeit

1440 U / min

Extraktionsrate

2,2 l / s

Motorleistung

0,4 kw

perfeer acp1 ölfreie mehrstufige wurzelpumpe (plan 2)

Modell-

acp15

Netzteil

ac100 ~ 240v 50 / 60hz

Leistung

450 w

Abgasschnittstelle

kf25

Gewicht

25 kg

Die maximale Heliumleckrate beträgt

5 · 10-8 pa m3 / s

extremer Vakuumgrad

0,02 Torr

die Extraktionsrate ist

14 m3 / h

Modell-

zdr - 1

Leistung

25 w.

vakuum grad messbereich

0,1-10 5 pa

Widerstand Silizium

was zj zu 52 t hatte

schweden (inficon) pirani kapazitätsvakuummeter (optional)

Modell-

pcg554

Eingangsspannung

24V 1a DC (ausgestattet mit 220V Transformator)

Vacuum gauge interface

kf16

Digitaler Bildschirm

Digitalanzeige (Bildschirmgröße 20x14mm), deren Datenanzeigeeinheit Torr ist

Produktgröße

46 mm x 28 mm x 126 mm (L x B x H)

das Gewicht der

5 lbs

Detektion von Gas

Verschiedene Gase können nachgewiesen werden, einschließlich gemischter Gase, genau und wiederholbar.

ob der Korrosionsschutz

Korrosionsschutz

die Reaktionszeit

30 ms oder weniger

Messbereich

3,8 x 10 & supmin; & sup5; & supmin; ¹² & sup5; Torr

Molekularpumpeneinheit (optional)

Eingangsspannung der Einheit

380 v / 220 v

Wellrohr

kf40x1000

Vakuum-Prallventil

kf40

Gehäusegröße

600 x 600 x 600

Molekularpumpe

Molekularpumpenmodell

fj620

Eingangsspannung

380 v

Einlassflansch der Molekularpumpe

DN160

Pumprate der Molekularpumpe l / s (für Luft)

600

Molekularpumpen-Grenzdruck (pa)

6 x 10-7

Kühlsystem

wassergekühlt

Kühlwasserdruck (mpa)

0,1 bis 0,2

Kühlwassertemperatur

& lt; 25 & lt; p = & gt;

die Umgebungstemperatur

0 ~ 40

Vorgeschlagener Startdruck

& lt; 100 pa & lt; p = & gt;

Motorvakuumpumpe rvp - 6

Leistung

0,75 kw

Stromspannung

380 v

Geschwindigkeit

1450 U / min

Einlassdurchmesser

kf25 / kf40

Pumpenförderrate (l / s)

6

Enddruck

4 x 10-2 pa

deutsche pfeiffer vakuumpumpe

Stromspannung

220 v

Leistung

110 w.

Extraktionsschnittstelle

kf40

The weight of the

150 kg

Pumpendrehzahl der vorderen Pumpe

0,9 m 3 / h

Extraktionsrate (n2)

33 m / s

Compound-Vakuummeter

zusammengesetztes Vakuummessgerät Modell

zdf

die Stromversorgung

220 v 55 w

Kontrollgenauigkeit

plus oder minus 1%

Messbereich des Vakuummeters

10-5-10 5 pa


PECVD furnace



1. Wir liefern Maschinen mit batterie technologie unterstützung.

2. wir liefern vollständiger Satz von Lithium-Batterie-Ausrüstung für Laborforschung, Pilotforschung und Produktion lin e.



1 standard exportiert paket: interne kollisionsschutz, externe export holzkiste verpackung.

2 Versand per Express, per Flugzeug, per Schiff nach Kundenwunsch, um den am besten geeigneten Weg zu finden.

3 verantwortlich für den schaden während des versandprozesses, wird den schaden teil für sie kostenlos ändern.


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